大气压放电方式下的等离子体表面处理仪可以联合分布在整个放电空间

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大气压放电方式下的等离子体表面处理仪可以联合分布在整个放电空间:

媒质阻碍放电(DBD)是指将绝缘媒质置于两个金属电极之间，以阻碍横穿极板间空气间隙的放电通道，使空气间隙通道内的放电不会产生电弧，而是以细丝放电的方式存在，等离子体表面处理仪便分散在其中，这种方式在实验室很容易实现，并且在工业生产中得到了广泛应用；而在大气压放电方式下，发生这种情况的等离子体表面处理仪等离子体可以联合分布在整个放电空间，因此，大气压辉放电也被称为均匀方式下的媒质阻碍放电，但在实验室更难实现，而在细丝放电方式下，只要操作不当，就会变成媒质阻碍放电。因此媒质阻碍放电是目前适合工业生产的等离子体产生方法。

媒质阻碍放电的底子在于增加绝缘媒质，如果没有绝缘媒质阻碍放电，位于极板气隙中的带电粒子将会以极高的迁移速度趋附在两个极板上，从而使气流难以吹出，而带电粒子则会在两个极板均覆盖一层绝缘层后，到达绝缘媒质表面，而不是极板表面。在两极板上加高频交流电源反向电压后，由于两板间隙中的空气由于强电场的作用等离子体表面处理仪再次发生雪崩电离，尔后的电流立即被切断，电流曲线显示出尖脉冲。此时，空气中仍然存在带电粒子，它们将继续向两个极板移动，并继续移动。这种带电粒子就是发生在被电离之后的等离子体表面处理仪因为它们以悬浮状态存在于极板之间的空气间隙中，所以可以很简单地把电离区吹出去。

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